摆动阴极

使用摆动阴极的外置端头,磁棒在独立于旋转靶管外按设定的轴旋转摇摆,使其成为显示或3D打印镀膜的理想选择。


在静态基板上可达到小于±1%的均匀性(当不使用摇摆阴极时,静态基板均匀性控制一般大于 ± 15%)

端头型号 安装位置 额定功率 靶管内径 靶管最大长度 最大承重
SMS 外部 200 kW; 1500 V / 450 A
(DC 或 80 kHz AC)
125 mm 4000 mm 水平安装最大承重2000kg
垂直安装最大承重400kg
MMS 外部 100 KW; 1500 V / 225 A
(DC 或 80 kHz AC)
125 mm 2500 mm 水平安装最大承重1000kg
垂直安装最大承重200kg
CMS 外部 20 KW; 1500 V / 50 A
(DC 或 80 kHz AC)
80mm或125mm 1000 mm 水平安装最大承重250kg
垂直安装最大承重100kg
MCS 内部 100 kW; 1500 V / 225 A
(DC 或 80 kHz AC)
125 mm 2500 mm 水平安装最大承重1000kg
垂直安装最大承重200kg