使用摆动阴极的外置端头,磁棒在独立于旋转靶管外按设定的轴旋转摇摆,使其成为显示或3D打印镀膜的理想选择。
在静态基板上可达到小于±1%的均匀性(当不使用摇摆阴极时,静态基板均匀性控制一般大于 ± 15%)
| 端头型号 | 安装位置 | 额定功率 | 靶管内径 | 靶管最大长度 | 最大承重 | ||
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SMS | 外部 | 200 kW; 1500 V / 450 A (DC 或 80 kHz AC) |
125 mm | 4000 mm | 水平安装最大承重2000kg 垂直安装最大承重400kg |
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MMS | 外部 | 100 KW; 1500 V / 225 A (DC 或 80 kHz AC) |
125 mm | 2500 mm | 水平安装最大承重1000kg 垂直安装最大承重200kg |
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CMS | 外部 | 20 KW; 1500 V / 50 A (DC 或 80 kHz AC) |
80mm或125mm | 1000 mm | 水平安装最大承重250kg 垂直安装最大承重100kg |
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MCS | 内部 | 100 kW; 1500 V / 225 A (DC 或 80 kHz AC) |
125 mm | 2500 mm | 水平安装最大承重1000kg 垂直安装最大承重200kg |