外置式端头
通常情况下磁棒是静止不动的,我们通过端头旋转靶管进行溅射。而IM外置式端头通过旋转磁棒实现溅射,而内部靶管处于静止状态。
用于镀膜管状部件的内部区域
用于装饰镀膜或者工具镀膜(在阴极周围放置部件)
IM 可以匹配靶管内径为80mm或125mm的靶材。
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