| 产品应用范围 | 产品应用范围 | ||
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标准内置式端头(工作时靶材旋转,磁棒静止) | 5款型号供选择,功率从20KW到200KW | |
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标准外置式端头(工作时靶材旋转,磁棒静止) | 3款型号供选择,功率从20KW到200KW | |
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摆动阴极 (工作时磁棒旋转, 靶材旋转) | 3款外置式安装型号供选择,功率从20KW到200KW 1款内置式安装方式,最大功率100KW |
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IM (工作时磁棒旋转,靶材静止) | 1款外置式安装方式,最大功率60KW |



