预处理源
envis-ION™（DMPTS）预处源能有效的去除水汽和其他挥发性污染物对基材的影响，并提高膜层的附着力和耐久性，同时低离子能量设计对基材表面损伤。
兼容各种PVD工艺，拥有超宽的工艺压力操作区间和优异的可调节性。
拥有超过200小时不断的工作时间.快速更换电极. 隐藏电极,极小的污染保证了电极能长时间和低成本的运行。
灵活的安装选项和紧凑的设计，能匹配现有设备。
法兰安装：水电气从大气侧从背部引入。
悬臂安装：水电气从大气侧从端部引入。
远程安装控制: 水电气安装方式灵活，可以从背部，端部或通过波纹管从任意位置引入。
了解更多信息，请参阅应用手册或关于我们产品的网络推介会
