SCI的高性能磁棒可应用于5种基本场景
125mm内径的靶管,可适配三列磁铁的TRM-Bar 和拥有专利设计,可提高靶材利用率的四列磁铁mQRM-Bar 和QRM-bar
80mm内径的靶管,可适配三列磁铁的TRM80-Bar和单列磁铁的SRM80-Bar
| 产品类型 | 磁场强度 | 最大靶材外径 | 溅射角度 | 靶材利用率(是否高利用率设计) | 应用领域 | ||
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TRM-Bar™ | 540 gauss | 160 mm | +/- 12° | 需要狗骨设计达到高利用率 | 标准125mm内径的靶管,满足大多数材料的应用 | |
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mQRM-Bar™ | 620 gauss | 170 mm | +/- 15° | 高利用率设计 | 材料更厚的125mm内径的靶管,材料利用率高 | |
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QRM-Bar™ | 870 gauss | 180 mm | +/- 21° | 高利用率设计 | 材料最厚的125mm内径的靶管,TCO和其他电介质膜层 | |
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SRM80-Bar™ | 565 gauss | 115 mm | +/- 28° | 需要狗骨设计达到高利用率 | 标准的80mm内径的靶管,更小的系统:如光学,研发设备 | |
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TRM80-Bar™ | 待定 | 115 mm | +/- 19° | 需要狗骨设计达到高利用率 | 标准的80mm内径的靶管,更小的系统:如光学,研发设备 |