高性能免维护磁棒

SCI的高性能磁棒可应用于5种基本场景

125mm内径的靶管,可适配三列磁铁的TRM-Bar 和拥有专利设计,可提高靶材利用率的四列磁铁mQRM-Bar 和QRM-bar

80mm内径的靶管,可适配三列磁铁的TRM80-Bar和单列磁铁的SRM80-Bar

产品类型 磁场强度 最大靶材外径 溅射角度 靶材利用率(是否高利用率设计) 应用领域
TRM-Bar™ 540 gauss 160 mm +/- 12° 需要狗骨设计达到高利用率 标准125mm内径的靶管,满足大多数材料的应用
mQRM-Bar™ 620 gauss 170 mm +/- 15° 高利用率设计 材料更厚的125mm内径的靶管,材料利用率高
QRM-Bar™ 870 gauss 180 mm +/- 21° 高利用率设计 材料最厚的125mm内径的靶管,TCO和其他电介质膜层
SRM80-Bar™ 565 gauss 115 mm +/- 28° 需要狗骨设计达到高利用率 标准的80mm内径的靶管,更小的系统:如光学,研发设备
TRM80-Bar™ 待定 115 mm +/- 19° 需要狗骨设计达到高利用率 标准的80mm内径的靶管,更小的系统:如光学,研发设备