(远程在线可调磁棒)
在线不破空可调节磁棒，无需破真空，便可在生产时通过外部系统调节磁棒和靶材表面的距离来实现膜层均匀性调整。
兼容所有SCI的端头，适用于125mm内径的靶材。RAM-Bar™允许调整位置之间的垂直差异达4mm，可实现精确调节。同时可将均匀性控制在+/-1%以内。
标准可充电锂电池组，电池易于更换。
系统通过以太网和光纤控制实现强大的工业通信能力，多重磁棒可通过镀膜设备PLC或专用计算机控制。软件可定制化并易于使用。
RAM-Bar™有两种方式操作：精确均匀性调节和恒定等离子阻抗。恒定阻抗法可以降低过程漂移，有助于在整个靶材消耗周期内稳定沉积速率。
