三种模式可选，SCI的布气系统分为主气和辅气。设计坚固且容易清洁，包含硬支撑和废物屏蔽罩。
| 类型 | 最大长度 | 类型 | 特点 | ||
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二元布气管 (BGMA) | 4000 mm | 不可替换，不可调整 | 均匀性(<+/- 1.2%) 快速反应溅射响应时间 |
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方管布气 (SGMA) | 4000 mm | 可替换，可调 | 针对不均匀的部分实现可调均匀性 | |
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T型布气管 (TGMA) | 1500 mm | 不可替换，不可调整 | 紧凑的设计适应有限的空间 |